真空熱處理即真空技術與熱處理技術兩個專業相結合的綜合技術，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下完成的。一般認爲真空爐劃分爲超高、高、中和低真空。

真空熱處理技術幾乎可以全部實現熱處理工藝，比如退火、淬火、滲碳、回火、氮化，在淬火工藝中可實現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進行真空釺焊、燒 結以及表面處理等。真空熱處理爐熱效率高，可實現快速升溫和降溫，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，並有脫脂除氣等作用，從而達到表 面光亮淨化的效果。一般來說，被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小。産品合格率高。可降低成本，有除氣作用，從而提高了工作 的機械性能和使用壽命。工作環境好，操作安全，沒有汙染和公害。被處理的工件沒有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩定性和重 複性好。這一系列的優點，開發真空熱處理設備和工藝被越來越重視和應用越來越廣。